对铝壳锂电池顶盖气密性进行干式检漏。通过机械手实现锂电池的上料后，对被检工件抽真空和充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格，最后将被检工件内的氦气回收循环利用。

  用于电池及电池盖板进行干式检漏。系统采用PLC控制，从检漏开始到检漏结果显示均为自动化控制，依据客户工件专门设计的检漏氦罩工装。先对被检工件抽空到指定真空度，然后设备向氦罩内喷氦，应用喷氦法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。